MOOG電液伺服閥是液壓伺服系統(tǒng)中關(guān)鍵控制元件，對保障設(shè)備的正常運行和伺服系統(tǒng)的成功十分重要。關(guān)于電液伺服的結(jié)構(gòu)也有各種不同的型式，下面對幾種典型的和比較特殊的結(jié)構(gòu)型式作一簡介。
一、彈簧對中式兩級電液伺服閥
彈簧對中式伺服閥是早期伺服閥的結(jié)構(gòu)型式。它的第一級是雙噴嘴擋板閥，第二級是滑閥，閥芯兩端各有一根對中彈簧管。無控制電流輸入時，閥芯在對中彈簧作用下處于中位。當(dāng)有控制電流輸入時，對中彈簧力與噴嘴擋板閥輸出的液壓力相平衡，使閥芯取得一個相應(yīng)的位移，輸出相應(yīng)的流量。
這種伺服閥屬于開環(huán)控制，其性能受溫度、壓力及閥內(nèi)部結(jié)構(gòu)參數(shù)變化的影響較大；銜鐵及擋板的位移都較大，對力矩馬達的線性要求較高；對中彈簧要求體積小、剛度大、抗疲勞好，因此制造困難；兩端對中彈簧由于制造和安裝上的誤差，易對閥芯產(chǎn)生側(cè)向卡緊力，增加閥芯摩擦力，使閥的滯環(huán)增大，分辨率降低。
二、射流管式兩級電液伺服閥
射流管式兩級電液伺服閥的射流管由力矩馬達帶動偏轉(zhuǎn)。射流管焊接于銜鐵上，并由薄壁彈簧片支撐。液壓油通過柔性的供壓管進入射流管，從射流管噴嘴噴射出的液壓油進入與滑閥兩端控制腔別分相通的兩個接收孔中，推動閥芯移動。射流管的側(cè)面裝有彈簧板及反饋彈簧絲，其末端插入閥芯中間的小槽內(nèi)，閥芯移動推動反饋彈簧絲，構(gòu)成對力矩馬達的力反饋。力矩馬達借助于薄壁彈簧片實現(xiàn)對液壓部分的密封隔離。
射流管式伺服閥的最大優(yōu)點是抗污染能力強。缺點是動態(tài)響應(yīng)較慢，特性不易預(yù)測，力矩馬達結(jié)構(gòu)及工藝復(fù)雜，細長的射流管及柔性供壓管易出現(xiàn)結(jié)構(gòu)諧振。
三、偏轉(zhuǎn)板射流式兩級電液伺服閥
偏轉(zhuǎn)板射流式兩級電液伺服閥。它由力矩馬達、偏轉(zhuǎn)板射流放大器和滑閥組成?；y位移通過反饋桿產(chǎn)生機械力矩反饋到力矩馬達銜鐵組件。
偏轉(zhuǎn)板射流放大器由射流盤和偏轉(zhuǎn)板組成。射流盤上開有一個射流噴嘴和兩個對稱的接收口。射流噴嘴與液壓能源相通，兩個接收口分別與第二級滑閥兩端的控制腔相連。偏轉(zhuǎn)板上開有V型導(dǎo)流窗口，其上端與銜鐵固連，并由彈簧管支撐，其下端通過反饋桿末端的小球插入滑閥閥芯中間的小槽中。
MOOG電液伺服閥是一個非常精密而又復(fù)雜的伺服控制元件，它的性能對整個系統(tǒng)的性能影響很大，因此要求也十分嚴(yán)格。
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